Intégration d’îlots d’électrovannes montés sur embase (Manifold) : compacité spatiale et réduction des pertes de charge des canaux
Schéma de la structure intégrée et des canaux internes d'un îlot d'électrovannes modulaire monté sur embase Dans les machines automatisées multi-axes modernes, les équipements de manipulation de plaquettes semi-conductrices et…